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扩散泵真空机组

扩散泵真空机组

更新时间:2016-10-13 10:29:56 点击数:1454

扩散泵真空机组




            简易扩散泵机组                扩散泵机组               全自动扩散泵机组

一、扩散泵真空机组概述:


    扩散泵真空机组是以扩散泵做为主泵,串以机械泵(一般常用2X型旋片式真空泵、滑阀真空泵)、和增压泵,并配以多种阀门、仪表组成的高真空获得应用产品。可获得最大值真空为10-4pa,抽气量300-40000L/S供用户选择。扩散泵真空机组具有高真空、大抽速、真空稳定等特点,被广泛应用在电子、化工、冶金、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空冷冻干燥设备、真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得。

二、扩散泵真空机组运行简介:


1、2X旋片式真空泵

2、机架

3、电磁充气阀

4、阀门A

5、罗茨真空泵

6、真空测量接头

7、金属真空波纹管

8、放气阀

9、阀门B

10、真空测量接头

11、真空测量接头

12、阀门C

13、冷阱

14、扩散真空泵

16、扩散泵支架


 

扩散泵单独不能使用,必须串联前级泵,如有必要需在串联1台中间增压泵进行工作(以下以前级泵以2X系列旋片式真空泵为例、中间增压泵以ZJP罗茨真空泵为例)。

扩散泵真空机组开启顺序:

1、关闭扩散泵真空机组连接系统的阀门C,关闭阀门A、B对2X旋片式真空泵和罗茨泵进行正反转试车。

2、确定转向后,打开阀门C、打开阀门B,并运行2X旋片式真空泵。

3、至真空抽至1000pa时,开启罗茨真空泵直至真空度达到10pa以内。

4、打开A阀门,同时关闭B阀门(此时真空度会有一定下降)。

5、当真空度回升到10pa以内后,开启扩散真空泵加热炉,直至扩散泵机组正常工作。

扩散泵真空机组关闭顺序:

1、关闭阀门C,并停止扩散泵加热炉。

2、运行10分钟左右关闭罗茨真空泵。

3、等待扩散泵油温降至40摄氏度左右时,关闭阀门A,同时关闭2X旋片式真空泵。

4、当扩散泵泵壳温度降到室温时,打开放气阀8。机组关闭完成。

三.使用扩散泵真空机组注意事项。


1、自扩散泵运行到整套机组关闭,扩散泵冷却水不能停止。

2、真空度高于10pa及以上时,扩散泵不得开启加热炉。

3、扩散泵运行期间,如遇突然停电时,应迅速关闭阀门A、B、C。

四、扩散泵真空机组选型参考


1、首先确定系统所需真空度。

确定好系统所需真空度后,方可选择是否配备冷阱、罗茨真空泵、冷却水温度等。

注:冷却水温度范围为1-20摄氏度。冷却水温度越低,真空度越高。反之则真空度低。

2、选择扩散泵真空机组所配阀门。

一般选择阀门有手动高真空蝶阀、气动高真空蝶阀、气动高真空球阀、高真空挡板阀。

自动化程度越高,所配置阀门越多,价格越高。反之手动高真空蝶阀价格最低。不推荐使用电动阀门。

3、了解系统在高真空下生产的产气量大小。

如若在高真空下系统产气量微弱,可考虑增设1台维持泵,以避免造成电能浪费。

五、扩散真空泵机组常用选型配置表



六、扩散泵真空机组的优缺点


扩散泵的优点:

1、对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强;

2、维护简单;

3、费用低;

4、不易出故障;

扩散泵的缺点:

1、扩散泵需要冷却水,开关机须等待;

2、易造成样品室污染;

3、如果前级泵所产生的压强高于最大反压强,则扩散泵就不能正常工作。

扩散泵比分子泵在开关机时间上均要长上十分钟,需要水冷系统,但在可获得的真空度方面,却要高上一个数量级。了解一个产品的优缺点,对于更合理的使用这种产品有事半功倍的效果,扩散泵有着它的优势,但是同时它也存在着缺点,但是如果能够不断的改进它的缺点,优化其优点,对于产品的进一步提升有不可估量的效果。这也应该成为未来我公司研究扩散泵的一个方向,专业人士应该重视这方面的研究。

七、其他异形真空机组


1罗茨水环真空机组

2、罗茨旋片真空机组

3、罗茨往复真空机组

4、罗茨滑阀真空机组

5、RPP水喷射真空机组

6、扩散泵真空机组



我公司专业生产水环式真空泵旋片式真空泵往复式真空泵罗茨真空机组罗茨真空泵真空负压站如若以上产品不能满足您的需求,请阅览我公司其他产品。

专业真空泵、真空获得应用产品生产商淄博汇诺机械设备有限公司。





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